1．測量隱理

　　由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機(jī)床運(yùn)動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng)，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理，得到所測量的位移量，即可評定數(shù)控機(jī)床的定位精度。

　　2．測量方法

　?。?）安裝雙頻激光干涉儀測量系統(tǒng)各組件。

　?。?）在需測量的機(jī)床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測量裝置。

　?。?）調(diào)整激光頭，使雙頻激光干涉儀的光軸與機(jī)床移動的軸線晝在一條直線上，即將光路調(diào)準(zhǔn)直。

　　（4）待激光預(yù)熱后輸入測量參數(shù)。

　　（5）按規(guī)定的測量程序運(yùn)動機(jī)床進(jìn)行測量。

　?。?）數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。

　　3．測量誤差分析

　　用雙頻激光干涉儀檢驗(yàn)數(shù)控機(jī)床定位精度的測量誤差主要來源及分析如下：

　　3.1雙頻激光干涉儀的極限誤差

　　其中L為測量的長度（單位：m）

　　3.2安裝誤差

　　它主要是由測量軸線與機(jī)床移動的軸線不平行而引起的誤差．

　　L為測量的長度；

　　θ為測量軸線與機(jī)床移動的軸線之間的夾角。

　　由于光路準(zhǔn)直，θ值趨于0，故此項(xiàng)誤差忽略不計。

　　3.3溫度誤差

　　它主要是由機(jī)床溫度和線膨脹系數(shù)不準(zhǔn)備而造成的誤差．

　　L為測量的長度（單位為m）；

　　δt為機(jī)床溫度測量誤差；

　　α為機(jī)床材料線膨脹系數(shù)；

　　δα為線膨脹系數(shù)測量誤差。

　　從上面分析可以看出，在各項(xiàng)測量誤差中，溫度誤差對測量結(jié)果的準(zhǔn)確性影響最大，所以，為了保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性，測量環(huán)境溫度應(yīng)滿足20±5℃，且溫度變化應(yīng)小于±0.2℃/h，測量前應(yīng)使機(jī)床等溫12h以上，同時要盡量提高溫度測量的準(zhǔn)確度。另外，如果測量時安裝不得當(dāng)，由安裝所造成的誤差也是不可忽略的。