日經(jīng)BP社2006年1月26日?qǐng)?bào)道 臺(tái)灣淡江大學(xué)機(jī)械與電機(jī)工程系開(kāi)發(fā)成功了尺寸為50μm×50μm的小型壓力傳感器芯片，在日前召開(kāi)的“MEMS2006”會(huì)議上進(jìn)行了發(fā)表（論文編號(hào)：MP28）。通過(guò)對(duì)壓力傳感器部分的薄膜形成手法進(jìn)行改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了小型化。同時(shí)還使用明膠對(duì)傳感器部分進(jìn)行了封裝。這種壓力傳感器可用于生物相關(guān)領(lǐng)域。
此次開(kāi)發(fā)的工藝在傳感器部分的薄膜中使用了SiO2層，在生產(chǎn)過(guò)程中支撐薄膜的犧牲層中使用了金屬層，在檢測(cè)壓力的傳感器壓電電阻中使用了多晶硅。全部均可采用臺(tái)積電雙層多晶硅四層金屬的CMOS工藝形成。在SiO2層的一部分中切出孔，并形成過(guò)孔，然后就能利用后續(xù)的蝕刻工藝去除犧牲層和過(guò)孔金屬。犧牲層去除后，位于犧牲層下方的硅底板也需進(jìn)行蝕刻處理，以使壓電電阻部分能除壓力而變化。金屬和硅底板的蝕刻采用的是普通蝕刻材料。
封閉帶孔薄膜的工藝使用的是不同于CMOS的其他工藝。具體來(lái)說(shuō)，就是從切孔中填入蛋白質(zhì)明膠，將薄膜的下部空間填充上。只需利用旋涂法涂布液態(tài)明膠就行了。通過(guò)填充明膠，能夠排除外部環(huán)境的干擾。壓力靈敏度為8.56±0.13mv/V/psi，高于過(guò)去的壓電電阻型壓力傳感器。
Copyright @ 沈陽(yáng)廢品回收 電子郵件：
沈陽(yáng)榮匯物資回收有限公司 電話(huà)：13252826888
精品亚洲一区二区日韩|
精品久久久久久久久中文字幕|
国产亚洲一区二区av|
成人午夜激情福利视频|
国产亚洲高清精品成人|
成人午夜国产在线观看|
亚洲伊人超碰在线国产|
久久精品国产熟女亚洲|
国产精品jizz在线观看无码|
国产呻吟高朝久久av|
久久综合色一综合色88|
国产成人av综合一区二区|
国产黄片a三级久久久久久|
在线不卡中文字幕福利|
亚洲在线 国产精品|
色偷偷亚洲第一综合网|
男人下部进女人下部视频|
人妻夜夜添夜夜无码av|
九九精品99久久久香蕉|
久久久精品2020免费观看|
精品国产一区二区三区麻豆|
免费国产精品第一黄色|
亚洲成人av免费在线播放|
亚洲国产精品成人女人|
国产又粗又长又大又黄|
性荡视频播放在线视频|
国产黄a三级三级三级|
国产小呦泬泬99精品|
亚洲欧美日韩综合一区二区|
中文字幕精品亚洲无线码二区|
国产一级男女啪啪视频|
国产av一区二区三区福利|
日韩精品人妻在线视频|
日韩精品久久久一区二区|
国产又爽又黄又无遮挡的激情视频|
精品视频二区在线播放|
熟女丝袜另类熟女激情|
亚洲乱码国产乱码精品精乡村|
综合色天天鬼久久鬼色|
亚洲国产天堂久久综合|
午夜福利不卡在线观看|
|
